SECS/GEM 시리즈: GEM Control State 에 대해서

해당 글의 출저는 https://www.cimetrix.com/blog/secs/gem-series-control-state 입니다.

자료 내용이 괜찮아서 일부 내용을 가져왔습니다. 

 

GEM 제어 상태란 무엇입니까?

GEM 제어 상태는 기본적인 E30 GEM 요구 사항 중 하나입니다. 호스트와 장비 간의 협력 수준을 정의하고 운영자가 호스트 제어의 여러 수준에서 상호 작용할 수 있는 방법을 지정합니다.

반도체 공장에서는 호스트나 오퍼레이터가 장비 처리를 제어할 수 있습니다. 양쪽에서 동시에 장비를 제어하는 ​​것은 문제를 야기합니다. 한 쪽이 장비를 제어할 때 다른 쪽은 수행할 수 있는 작업이 제한되어야 합니다. 예를 들어, 운영자가 처리를 일시 중지하면 호스트가 처리를 재개하거나 새 작업을 시작하라는 명령을 보내지 않아야 합니다. 이러한 유형의 문제가 발생하지 않도록 GEM 제어 상태가 제공됩니다.

그림 1: SEMI E30 GEM 제어 상태 모델

제어 상태는 어떻게 작동합니까?

제어 상태는 세 가지 기본 제어 수준을 제공합니다. 각 레벨은 호스트 측과 장비 측에서 수행할 수 있는 작업을 설명합니다.

 

 

 

Remote

• 호스트는 가능한 최대로 장비를 제어할 수 있습니다.
• 장비는 장비를 제어하는 ​​현지 운영자의 능력에 제한을 가할 수 있지만 이것은 표준의 요구 사항은 아닙니다. 호스트는 장비에서 작업자가 호출한 예기치 않은 명령을 처리할 수 있어야 합니다.
• GEM 원격 명령은 호스트에서 장비에 대한 명령을 호출하는 데 사용됩니다.

 

Local

• 작업자는 장비를 최대한 제어할 수 있습니다.
• 호스트는 정보에 대한 전체 액세스 권한이 있습니다. 호스트는 수집 이벤트, 추적 및 상태 데이터 수집과 같은 다른 GEM 기능을 사용하여 데이터를 수집할 수 있습니다.
• 호스트가 장비 작동에 영향을 줄 수 있는 방법에는 제한이 있습니다.
  • 처리를 시작하거나(예: START) 물리적 움직임을 유발하는 원격 명령은 금지됩니다. 처리 중에는 처리에 영향을 미치는 원격 명령(STOP, ABORT, PAUSE, RESUME)도 금지됩니다.
  • 처리를 시작하지 않거나 물리적 이동을 일으키거나 처리에 영향을 주지 않는 다른 원격 명령이 허용될 수 있습니다.
  • 처리하는 동안 호스트는 해당 프로세스에 영향을 미치는 장비 상수를 수정하는 것이 금지됩니다.
  • 현재 실행 중인 프로세스에 영향을 주지 않는 장비 상수는 변경될 수 있습니다.
  • 모든 장비 상수는 처리하지 않을 때 변경 가능합니다.

Offline

• 작업자는 장비를 완전히 제어할 수 있습니다.
• 호스트는 장비 작동을 제어할 수 없으며 정보 수집 기능이 매우 제한적입니다.

 

• 장비가 호스트로부터 수락하는 유일한 메시지는 다음과 같습니다.
  • GEM 통신을 설정하는 데 사용되는 메시지(S1F13/F14).
  • 온라인 제어 상태(S1F17) 활성화를 요청하지만 현재 활성 상태가 호스트 오프라인인 경우에만(제어 상태 모델의 전환 #11).
  • S1F2 온라인 연결을 시도하는 동안 "Are You There Response"가 표시됩니다.

 

• 장비가 호스트에 보낼 수 있는 유일한 기본 메시지는 다음과 같습니다.
  • 통신을 설정하는 데 사용되는 메시지(S1F13).
  • S9Fx 메시지, 그러나 오프라인일 때 장비가 정상적으로 응답하는 메시지(즉, S1F13 및 S1F17)에만 응답합니다.
  • S1F1 “Are You There Request”는 “Attempt ON-LINE” 하위 상태가 입력될 때 호스트로 전송됩니다. 이 메시지는 호스트로부터 온라인 상태(전환 #5)로 전환할 수 있는 권한을 얻는 데 사용됩니다.
• 오프라인 상태에서는 메시지가 스풀링되지 않습니다.

제어 상태 모델은 장비 운영자가 호스트보다 상태 시스템을 더 많이 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 이는 호스트에서 시작된 예기치 않은 상태 변경으로부터 운영자를 보호합니다.

• 장비 운영자는 운영자 인터페이스를 통해 활성 상태인 온라인 하위 상태를 선택할 수 있습니다. 호스트 측에서는 활성 상태인 온라인 하위 상태를 선택할 수 없습니다.
• 장비 측에서는 제어 상태 모델을 장비 오프라인 상태(전환 #6)로 전환할 수 있습니다. 이 상태에서는 호스트가 온라인 상태가 되도록 요청할 수 없습니다.
• 호스트 측에서는 제어 상태를 호스트 오프라인 상태(전환 #10)로 전환할 수 있지만 장비 측에서는 이 요청을 거부할 수 있습니다. 호스트 오프라인 상태에 있을 때 장비 측에서는 먼저 장비 오프라인 상태(전환 #12)로 전환한 다음 온라인 상태로 전환(전환 #3)하여 항상 온라인 상태로 전환을 시도할 수 있습니다.